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光刻机概念集体飙升网传中芯国际测试“国产ASML”

传闻纷飞，严谨求证，掌握权威、真实的声音。据媒体引述知情人士的消息透露，中芯国际正在测试由上...

上海微电子取得光刻机扫描系统及远心异常校准方法专利

金融界2025年6月17日消息，国家知识产权局信息显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司取得一项名...

上海微电子装备取得对准装置、光刻机及对准方法专利

金融界2025年5月9日消息，国家知识产权局信息显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司取得一项名为...

上海微电子取得对准装置光刻机及对准方法相关专利

金融界2025年5月20日消息，国家知识产权局信息显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司取得一项名...

上海微电子取得光刻机控制系统及控制方法专利

金融界2025年6月17日消息，国家知识产权局信息显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司取得一项名...

上海微电子取得对准装置、光刻机以及对准方法专利

金融界2025年5月16日消息，国家知识产权局信息显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司取得一项名...

上海微电子取得光刻机框架及光刻机专利

金融界2025年6月17日消息，国家知识产权局信息显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司取得一项名...