上海微电子取得具有碰撞测试功能的浸没光刻装置及碰撞测试方法专利

金融界2025年5月20日消息，国家知识产权局信息显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司取得一项名为“具有碰撞测试功能的浸没光刻装置及碰撞测试方法”的专利，授权公告号CN114690576B，申请日期为2020年12月。

天眼查资料显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司，成立于2002年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本26612.41万人民币。通过天眼查大数据分析，上海微电子装备（集团）股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目141次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息2990条，此外企业还拥有行政许可108个。

来源：金融界