上海微电子申请芯片缺陷检测方法及装置专利，提高缺陷检测精准度

金融界2025年5月6日消息，国家知识产权局信息显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司申请一项名为“芯片缺陷检测方法及装置”的专利，公开号CN119919338A，申请日期为2023年10月。

专利摘要显示，本发明提供一种芯片缺陷检测方法及装置。其中，芯片缺陷检测方法是获取样本芯片图像的特征值来表征各个样本芯片图像的色差属性，并以此细分出多种色差区间，且对各个样本芯片图像进行色差归类。以及利用机器学习模型自动训练生成每种色差区间的标准特征图像，以作为待检芯片图像的参考图像。基于此，根据待检芯片图像的特征值，可判断出待检芯片图像所属的色差区间，进而选用待检芯片图像所属色差区间的标准特征图像与待检芯片图像进行缺陷比较。相较于现有技术，本发明提供的芯片缺陷检测方法能够在同一色差属性下，检测待检芯片的缺陷，检测效率高，且能够有效规避背景色差对缺陷检测的干扰，缓解色差导致的误检问题，提高缺陷检测的精准度。

天眼查资料显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司，成立于2002年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本26612.41万人民币。通过天眼查大数据分析，上海微电子装备（集团）股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目139次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息2984条，此外企业还拥有行政许可108个。

来源：金融界