上海微电子装备申请退火方法及退火设备专利，降低设备成本

金融界2025年5月6日消息，国家知识产权局信息显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司申请一项名为“退火方法及退火设备”的专利，公开号CN119920689A，申请日期为2023年10月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体技术领域，提供了一种退火方法及退火设备，退火方法包括：将基板转移至退火设备的运动平台上，并确定所述基板的初始圆心坐标；在运动平台的上方设置位移传感器，所述位移传感器用于测量相对于所述运动平台上所述基板的距离；所述运动平台和/或所述位移传感器沿水平运动，通过所述距离识别所述基板的至少三个突变位置，并在所述基板边缘内侧的基板上表面测量至少三个调平位置高度；通过所述突变位置确定所述基板的定心偏差；通过所述调平位置高度确定所述基板的调平误差。如此配置，对准过程中不依靠相机图像采集，仅使用位移传感器实现调焦调平及二次对准功能，可节省设备内传感器安装空间的同时，降低设备成本。

天眼查资料显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司，成立于2002年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本26612.41万人民币。通过天眼查大数据分析，上海微电子装备（集团）股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目139次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息2984条，此外企业还拥有行政许可108个。

来源：金融界